জবানবন্দি
অন্তর্দৃষ্টি অর্জন এবং উন্নয়ন প্রক্রিয়া গতি.
উন্নত শক্তি সমালোচনামূলক পাতলা ফিল্ম ডিপোজিশন অ্যাপ্লিকেশন এবং ডিভাইস জ্যামিতির জন্য পাওয়ার সাপ্লাই এবং নিয়ন্ত্রণ সমাধান সরবরাহ করে।ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণের চ্যালেঞ্জগুলি সমাধান করতে, আমাদের নির্ভুল শক্তি রূপান্তর সমাধানগুলি আপনাকে পাওয়ার নির্ভুলতা, নির্ভুলতা, গতি এবং প্রক্রিয়া পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা অপ্টিমাইজ করার অনুমতি দেয়।
আমরা RF ফ্রিকোয়েন্সি, DC পাওয়ার সিস্টেম, কাস্টমাইজড পাওয়ার আউটপুট লেভেল, ম্যাচিং টেকনোলজি এবং ফাইবার অপটিক টেম্পারেচার মনিটরিং সলিউশনের বিস্তৃত পরিসর অফার করি যা আপনাকে সত্যিকার অর্থে প্রক্রিয়া প্লাজমাকে আরও ভালোভাবে নিয়ন্ত্রণ করতে সক্ষম করে।প্রক্রিয়ার অন্তর্দৃষ্টি প্রদান করতে এবং উন্নয়ন প্রক্রিয়ার গতি বাড়াতে আমরা দ্রুত DAQ™ এবং আমাদের ডেটা অধিগ্রহণ এবং অ্যাক্সেসিবিলিটি স্যুটকেও একীভূত করি।
আপনার প্রয়োজনের সাথে মানানসই সমাধান খুঁজে পেতে আমাদের সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়া সম্পর্কে আরও জানুন।
আপনার চ্যালেঞ্জ
প্যাটার্ন ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট মাত্রা থেকে পরিবাহী এবং নিরোধক ফিল্ম (বৈদ্যুতিক কাঠামো), ধাতব ফিল্ম (আন্তঃসংযোগ), আপনার জমা প্রক্রিয়াগুলির জন্য পারমাণবিক-স্তরের নিয়ন্ত্রণ প্রয়োজন — শুধুমাত্র প্রতিটি বৈশিষ্ট্যের জন্য নয়, পুরো ওয়েফার জুড়ে।
কাঠামোর বাইরে, আপনার জমা করা ছায়াছবি অবশ্যই উচ্চ মানের হতে হবে।তাদের পছন্দসই শস্যের গঠন, অভিন্নতা এবং কনফরমাল বেধ থাকতে হবে এবং অকার্যকর হতে হবে - এবং এটি প্রয়োজনীয় যান্ত্রিক চাপ (সংকোচনশীল এবং প্রসার্য) এবং বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্য প্রদানের পাশাপাশি।
জটিলতা বাড়তেই থাকে।লিথোগ্রাফি সীমাবদ্ধতা (সাব-1এক্স এনএম নোড) মোকাবেলা করার জন্য, স্ব-সারিবদ্ধ ডবল এবং চতুর্গুণ প্যাটার্নিং কৌশলগুলির জন্য প্রতিটি ওয়েফারে প্যাটার্নটি তৈরি এবং পুনরুত্পাদন করার জন্য আপনার জমা দেওয়ার প্রক্রিয়া প্রয়োজন।
আমাদের সমাধান
আপনি যখন সবচেয়ে সমালোচনামূলক ডিপোজিশন অ্যাপ্লিকেশন এবং ডিভাইস জ্যামিতি স্থাপন করেন, তখন আপনার একটি নির্ভরযোগ্য বাজার নেতা প্রয়োজন।
অ্যাডভান্সড এনার্জির RF পাওয়ার ডেলিভারি এবং হাই-স্পিড ম্যাচিং টেকনোলজি আপনাকে সমস্ত উন্নত PECVD এবং PEALD ডিপোজিশন প্রক্রিয়ার জন্য প্রয়োজনীয় পাওয়ার নির্ভুলতা, নির্ভুলতা, গতি এবং প্রক্রিয়া পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা কাস্টমাইজ এবং অপ্টিমাইজ করতে সক্ষম করে।
আপনার কনফিগারযোগ্য আর্ক প্রতিক্রিয়া, শক্তি নির্ভুলতা, গতি এবং প্রক্রিয়া পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা প্রয়োজনীয় PVD (স্পটারিং) এবং ECD জমা করার প্রক্রিয়াগুলিকে সূক্ষ্ম-টিউন করতে আমাদের ডিসি জেনারেটর প্রযুক্তি ব্যবহার করুন।
সুবিধা
● উন্নত প্লাজমা স্থায়িত্ব এবং প্রক্রিয়া পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা ফলন বাড়ায়
● সম্পূর্ণ ডিজিটাল নিয়ন্ত্রণের সাথে সুনির্দিষ্ট RF এবং DC ডেলিভারি প্রক্রিয়া দক্ষতা অপ্টিমাইজ করতে সাহায্য করে
● প্লাজমা পরিবর্তন এবং চাপ ব্যবস্থাপনার দ্রুত প্রতিক্রিয়া
● অভিযোজিত ফ্রিকোয়েন্সি টিউনিং সহ মাল্টি-লেভেল পালসিং এচ রেট সিলেক্টিভিটি উন্নত করে
● সর্বোচ্চ আপটাইম এবং পণ্যের কর্মক্ষমতা নিশ্চিত করতে বিশ্বব্যাপী সমর্থন উপলব্ধ